サーマルマスフローメーター
サーマルマスフローコントローラー GSシリーズVogtlin製
サーマルマスフローメーター・コントローラー
GSシリーズ
カスタマイズ・デジタル入出力信号
センサー部に高精度MEMSセンサーを採用しているため、ドリフトの少ない優れた安定性を保証いたします。
混合ガスのアプリケーションでは複数のマスフローコントローラーを1つのブロックに取り付け、省スペースに設計することできます。また、必要に応じて、数百のユニットをデイジーチェーンで接続することも可能です。
アプリケーション
ガス式燃焼炉、分析器、医薬、バイオ、研究機関 等
| 製品仕様 | |
|---|---|
| 測定レンジ Air | 25 ～ 600 mLn/min（接続口径：G 1/4"） 500 ～ 6000 ｍLn/min（接続口径：G 1/4"） 5 ～ 60 Ln/min（接続口径：G 1/4"） 50 ～ 450 Ln/min（接続口径：G 1/2"） |
| 測定精度 | 【標準モデル】± 1.0 ％ F.S. 【ハイパフォーマンスモデル】± 0.3 ％ F.S. + ± 0.5 ％ RD ※アナログ信号の場合はさらに±0.25% の誤差が生じる可能性があります。 |
| レンジアビリティ | 【標準モデル】 1:50 【ハイパフォーマンスモデル】 1:100 |
| 再現性 | ± 0.2 ％ F.S. |
| 測定ガス | Air, O₂, N₂, He, Ar, CO₂, H₂, CH₄, C₃H₈ ※O₂、N₂はAirで校正されます。 ※その他のガスや混合ガスはリクエストに応じます。 |
| 使用温度範囲 | 0 ～ 50 ℃ |
| 入出力信号 | 【アナログ信号】0-20 mA, 4-20 mA, 0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 2-10 V 【デジタル信号】RS-485：Modbus RTU(2線式) オプション：ProfiBus DP-V0, DP-V1 / Profinet RT / EtherCAT |
| その他 | 保護等級：IP50 EMC規格：EN 61326-1 NISTトレーサブル |
