圧力センサ（微差圧）一覧Allsensors製

製品特徴

Allsensors製　半導体圧力センサ（微圧・微差圧）

オールセンサーズ社製の半導体圧力センサーは、呼吸器等の医療器具、産業制御、HVAC、環境制御、ポータブル医療端末などの微圧・微差圧計測向けに、小型で高精度、信頼性の高い製品を取り揃えています。センサー出力はデジタル出力、アンプ内蔵出力、mV出力（補正済みセンサー）、ベーシック出力（未補正センサー）の4つの異なる出力方式を用意しています。

COBEAM2 DIE ダイセンシング技術

オールセンサーズの圧力センサーダイはCOBEAM2として登録されているCollinear Beam2技術を適切に使用しております。この技術革新によってピエゾ抵抗素子の圧力センサーに関する最先端技術は、ひずみ技術を基礎としたシリコンを使用する低圧センシング性能をも超えて進歩しました。CoBeam2技術は、これまでボス構造やより大きなダイトポロジーでないと得られなかった高レベルの圧力感度に到達しています。設計においてより多くの通常のボス構造を取り除く事によって、重力や振動の感度が大きく軽減されます。ひずみ感知抵抗は抵抗や感度の温度係数の選択を通して一定電流駆動もしくは電圧駆動を用い処理されます。COBEAM2技術は6インチのシリコンウェハーを処理する最高水準のMEMSと結びつけると1950年代に使用されていた接着式ひずみゲージサンセーの側面を具現化します。