耐薬液・耐酸性テフロン
圧力トランスミッター MSP-4000Sシリーズmsi 製
圧力トランスミッター
MSP-4000Sシリーズ
耐薬液 / 耐酸性テフロン
msi製圧力トランスミッター MSP-4000Sシリーズはテフロンハウジングに耐薬液センサを搭載しており、半導体における耐薬品性・耐溶剤性が要求される液晶産業や、化学工場などの腐食性の強い環境におけるプロセス圧力の測定制御に適しています。また高密度スラリーまたはその他の異なる汚染環境での使用にも適しています。
アプリケーション
耐薬品性・耐溶剤性・腐食性の強いプロセスの圧力測定や圧力制御
| 製品仕様 | |
|---|---|
| 計測カテゴリー | ゲージ圧 |
| 圧力レンジ | 0～1.0 MPa |
| 媒体 | 超酸 (フッ酸、硝酸、硫酸)、超アルカリ、超純水、CMPスラリー |
| 温度影響補償範囲 | 0～80 ℃ |
| 出力 | 4-20 mA、1-5 VDC、0-10 VDC |
| 測定精度 | ±0.5 ％FS |
| 精度個別仕様 | 直線性 ： ±0.2 ％ of Span 再現性 ： ±0.1 ％ of Span ヒステリシス ： ±0.2 ％ of Span 長期安定性 ： ±0.2 ％ (1年間) |
| 圧力継手 | MF 1/2”. MF 3/8”. |
| 材質 | ダイアフラム PTFE |
