クランプオン型 気泡検出センサ（チューブ用）
SONOCHECK ABD06.xxxSONOTEC製
SONOCHECKシリーズ
SONOCHECK ABD06.xxx
気泡検出
SONOCHECK®は、液体で満たされたチューブ内の気泡を液体と接触せずに検出するセンサです。
ウエハ洗浄装置、リソグラフィー装置、混合装置、薬液供給システム、スラリーラインなどの厳しい衛生基準のある分野での気泡検出に使用が可能です。
アプリケーション
ウエハ洗浄装置、リソグラフィー装置、混合装置、薬液供給システム 等
| 製品仕様 | |
|---|---|
| 測定サイクル | 200 μs |
| レスポンスタイム | 0.2 ～ 2 ms ※専用モニタソフトで保持時間の設定も可能 |
| 動作温度 | 5 ～ 60 ℃ |
| 保護等級 | IP67 |
| 出力信号 | アナログ出力 0/4～20 mADC, 0/2～10 VDC, スイッチング出力(PNP),シリアル通信出力 RS-485 |
| 電源電圧 | 12 ～ 30 VDC |
