クランプオン型 チューブ用 超音波流量計
SEMIFLOW CO.65/xxxPI V2.0SONOTEC製
SEMIFLOWシリーズ
SEMIFLOW CO.65/xxxPI V2.0
流量測定
SEMIFLOW® は、さまざまな直径の剛性チューブ内の液体流量を数ミリ秒以内に検出します。
センサーは媒体に接触せず、アナログ出力、周波数出力、スイッチング出力などにより、半導体業界（ウエハ洗浄装置、リソグラフィー装置、混合装置、薬液供給システム、スラリーライン）、医療技術、バイオテクノロジー、製薬、化学等の厳しい衛生基準のある分野での用途に適しています。
RS-485 通信（SONOTEC プロトコル; ソフトウェア設定によるModbus®）により、過酷な環境下の中で最大12 個のセンサーのバス動作が可能になります。
アプリケーション
半導体業界（ウエハ洗浄装置、リソグラフィー装置、混合装置、薬液供給システム、スラリーライン）等
| 製品仕様 | |
|---|---|
| 流量範囲 | 800 ～ 6,000mL/min ... 18,000 ～ 290,000 mL/min |
| 精度 | ± 2.0 ％ RD ～ |
| 測定可能流体 | 水、 透明な液体 |
| 摘用チューブ外径 | 1/4"～ ※最大外径 61 mm まで対応可能 ※センサー選定の際、チューブサンプル(1m)をご提供ください。 |
| 本体材質 | 測定部：PMMA インレイ：シリコンゴム ハウジング：PVC-C(グレー) ポッティング：PU カバーネジ：PA(ナチュラル) コネクタ：PA(ブラック) ピン：真鍮 / 防爆仕様：金接点真鍮 |
| 流体温度/環境温度 | 0 ～ 60 ℃ ※温度範囲外の場合は、お問い合わせください。 |
| 出力信号 | 0/4-20 mA アナログ出力 周波数出力：0 ～ 20 kHz RS-485 通信 (SONOTECプロトコル, オプション Modbus®) スイッチング出力：PNP / NPN / Push-Pull |
| 電源電圧 | 12 ～ 30 VDC |
