超音波流量計のおすすめ【SONOTEC社の製品をご紹介】

2025.03.28

流量計

従来の流量計ではパイプ内に機器を設置する必要があり、圧力損失や汚染リスクが課題でした。しかし、超音波流量計の登場により、配管を切断せず、流体に触れることなく正確な測定が可能になりました。今回は、超音波流量計の基本的な仕組みから、ドイツSOONTEC社の高品質な製品ラインナップまで詳しくご紹介します。

超音波流量計とは？

超音波流量計は、配管内を流れる液体・気体・蒸気などの流量を非接触で測定できる計測機器です。従来の流量計とは異なり、配管内に障害物を設置する必要がないため、圧力損失や配管の摩耗が少なく、メンテナンスの手間を大幅に削減できます。超音波流量計は、高精度な測定が可能で、クランプオン型であれば配管工事が不要という大きなメリットがあります。既存の配管設備に後付けできるため、設備の改修コストを抑えることも可能です。

超音波流量計には主に「伝搬時間差方式」と「ドップラー式」の2種類があります。伝搬時間差方式は、配管を流れる流体に対して斜めに超音波を送信し、上流と下流の伝搬時間の差から流速を計算します。一方、ドップラー式は流体中の気泡や固形物に超音波を当て、反射波の周波数変化から流速を測定します。

超音波流量計のメリットは以下のとおりです。

配管内に障害物を設置しないため、圧力損失がゼロ
幅広い流体の測定に対応可能
計測結果の応答が早く、リアルタイムでの流量管理が可能
メンテナンスが少なく、長期間安定した測定が可能

ただし、いくつかの注意点もあります。たとえば、伝搬時間差方式は気泡に弱く、わずかな気泡でも正確な測定ができないことです。また、設置時には直管部が必要となり、曲がりや分岐がある配管部分では正確な測定が難しくなります。流体の特性によっては測定精度が影響を受けることもあるため、使用環境に合わせた選定が必要です。

SONOTEC社の超音波流量計

ここからはSONOTEC社の超音波流量計をシリーズ別にご紹介します。

｜SONOFLOWシリーズ

SONOFLOWシリーズは、柔軟なプラスチックチューブでの流量測定に最適な超音波クランプオン流量計です。シリーズの主力製品であるSONOFLOW CO.55は、液体の流量を迅速かつ確実に測定します。

SONOFLOW CO.55/xxx(H) V2.0：基本モデルとして、PVC、シリコン、PTFE、PFA、FEP、TPE、タイゴン、PE などのさまざまなチューブ材料に対応可能なセンサーです。外径 4 mm～35 mmのチューブまで対応できます。アナログ出力、周波数出力、スイッチング出力などにより、様々なアプリケーションをサポートしています。医療技術、バイオテクノロジー、製薬、化学、半導体業界など厳しい衛生基準のある分野に最適です。
SONOFLOW CO.55/xxxSD(H) V2.0：CO.55/xxx(H) V2.0のディスプレイ一体型モデルです。
SONOFLOW CO.56：流量測定と気泡検出を組み合わせたハイブリッドセンサーです。医療機器への組み込みが可能で、固定設置型として利用できます。
SONOFLOW CO.56 Pro V2.0：シリーズ最軽量モデルで、人工心肺、体外式膜型人工肺(ECMO)、臓器輸送、透析装置などの医療機器に実装するために特別に設計されています。

｜SEMIFLOWシリーズ

SEMIFLOWシリーズは、硬質プラスチックチューブやパイプでの非接触流量測定に最適なセンサーです。

SEMIFLOW CO.65/xxxPI V2.0：外部基板やトランスミッターなしで、小型トランスデューサーサイズの完全な流量計として機能する統合電子ユニットを搭載しています。半導体業界で使用される硬質プラスチックチューブやパイプ上の研磨性、粘着性、腐食性、超高純度の液体を測定するのに最適です。
SEMIFLOW CO.66/xxxPI Ex1：危険区域での使用向けの防爆仕様のモデルです。ATEX/IECEx（Ex Zone 1）に準拠しており、ガス、蒸気、霧による爆発の危険性のある環境でも安全に流量測定が可能です。

SEMIFLOWシリーズの主な用途は、シングルウェハー洗浄装置、リソグラフィー装置、混合装置、化学薬品供給システム、スラリーラインなど、半導体製造プロセスの様々な場面です。

｜SONOCHECKシリーズ

SONOCHECKシリーズは、液体で満たされた柔軟なプラスチックチューブ内の気泡や空気を検出するための非侵襲的センサーです。流体と接触せずにチューブ外側から検出できるため、衛生面が重要な用途に最適です。

SONOCHECK ABD05.xx：医療用途向けの気泡検出センサーで、液体で満たされたチューブ内の気泡を非接触で検出します。また、ウェット/ドライセンサーとしても使用可能です。
SONOCHECK ABD07/xx-1：ABD05と同様に液体で満たされたチューブ内の気泡を非接触で検出します。人工心肺や透析装置などの医療機器での気泡検出に適しており、より高度な安全機能を備えています。
SONOCHECK ABD06.xxx：産業用およびバイオプロセス用の気泡検出器です。ウエハ洗浄装置、リソグラフィー装置、混合装置、薬液供給システム、スラリーラインなど厳しい衛生基準のある産業分野での気泡検出に使用されます。

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